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    2500℃燒結爐

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    • 化學氣相沉積爐
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    化學氣相沉積爐

    臥式化學氣相沉積爐主要用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理高溫氣相沉積設備主要用于關鍵器件表面涂層的制備,而溫度是影響氣相沉積涂層質量的關鍵參數,目前常規氣相沉積設備的使用溫度最高只有2000℃,本項目開發的氣相沉積設備使用溫度可達到2500℃

    產品介紹

    • 臥式化學氣相沉積爐主要用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理

      高溫氣相沉積設備主要用于關鍵器件表面涂層的制備,而溫度是影響氣相沉積涂層質量的關鍵參數,目前常規氣相沉積設備的使用溫度最高只有2000℃,本項目開發的氣相沉積設備使用溫度可達到2500℃



      型號

      功率

      溫度

      Φ300*600

      100KW

      2500

      Φ500*1000

      200KW

      2500

      Φ800*2000

      400KW

      2500

      Φ1500*2500

      1000KW

      2500

       


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