碳化硅粉燒結(jié)爐

碳化硅粉燒結(jié)爐：是用于碳化硅粉末成型體致密化燒結(jié)的核心設(shè)備，通過(guò)精確控制超高溫環(huán)境，實(shí)現(xiàn)SiC陶瓷的無(wú)壓燒結(jié)（PLS）、熱壓燒結(jié)（HP）或反應(yīng)燒結(jié)（RBSC），制備高硬度、高導(dǎo)熱的碳化硅陶瓷部件，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、航空航天、新能源等領(lǐng)域。

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產(chǎn)品介紹

碳化硅粉燒結(jié)爐：是用于碳化硅粉末成型體致密化燒結(jié)的核心設(shè)備，通過(guò)精確控制超高溫環(huán)境，實(shí)現(xiàn)SiC陶瓷的無(wú)壓燒結(jié)（PLS）、熱壓燒結(jié)（HP）或反應(yīng)燒結(jié)（RBSC），制備高硬度、高導(dǎo)熱的碳化硅陶瓷部件，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、航空航天、新能源等領(lǐng)域。

參數(shù)指標(biāo) 參數(shù)指標(biāo) 單位/型號(hào)		實(shí)驗(yàn)型	生產(chǎn)型
參數(shù)指標(biāo) 參數(shù)指標(biāo) 單位/型號(hào)		NTG-SJL-120W	NTG-SJL-160W	NTG-SJL-220W	NTG-SJL-300W	NTG-SJL-600W	NTG-SJL-700W
有效尺寸	mm	300×300×600	400×400×800	500×500×1200	600×600×1600	680×680×2800	680×680×3500 可定制更大尺寸
加熱方式	/	中頻感應(yīng)（IGBT）
高溫區(qū)容積	L	54	128	300	576	1295	1618
裝載量	g	*裝料區(qū)容積產(chǎn)品密度（裝料容積可根據(jù)用戶(hù)需求定制）**
功率	KW	120	160	220	300	600	700
極限真空度	pa	冷態(tài) 5pa(真空度可根據(jù)客戶(hù)需求定制)
工作溫度	℃	2400	2400	2400	2400	2400	2400
最高溫度	℃	2500	2500	2500	2500	2500	2500
恒溫區(qū)溫差	℃	±5℃	±5℃	±7℃	±7℃	±10℃	±10℃
爐內(nèi)工作環(huán)境	/	真空狀態(tài)或Ar.N2氣氛保護(hù)（微正壓）